仪器测试功能：
提供超高稳定性原子分辨能力和高速扫描方式，可在原子水平表征样品表面结构（包括电子结构和几何形貌），可用于多种无机（包括半导体、高温超导体、金属、磁性、氧化物等）单晶块材、外延薄膜的表面结构分析。
仪器主要技术参数：
1、分析室本底真空度：优于5 × 10-10 mbar；
2、样品温度90 -400 K；
3、热漂移（120 K < T < RT）：< 0.05 nm/min (纵向)，< 0.15 nm/min (横向)；
4、稳定度：< 5 pm。
仪器主要应用领域：
1、表面科学，直接观察晶体原子排列、表面重构，研究吸附原子/分子、缺陷、台阶。
2、纳米操控（原子光刻），构建人工纳米结构。
3、材料科学，分析半导体、超导、低维材料的表面电子结构。
4、生命科学，在溶液环境下观察DNA、蛋白质等生物分子的结构。
