仪器测试功能：
分析材料表面形貌、粗糙度、厚度、物相分布等。
仪器主要技术参数：
1、分辨率： XY-0.5 nm, Z-0.1nm；
2、样品尺寸：Φ25×10 mm，最大重量不超过40g；
3、扫描范围：100×100×10 μm，带有闭环控制功能。
仪器主要应用领域：
主要用于纳米材料、高分子、聚合物、半导体等相关领域的研究工作，并对其表面形貌进行表征分析。
此仪器技术优势：
1、闭环扫描控制的位移传感器，提高扫描结果的精确度；
2、结构紧凑，分辨率高；
3、几乎可以实现所有的STEM功能。
